在千亿级产业集群——光电子信息产业基地光电产业圈的核心区，武汉中旗光电科技有限公司（以下简称中旗光电）的会议室里，创始人顾勇刚和技术骨干就核心产品晶圆卡盘的又一次技术升级开展讨论。与此同时，在光谷腹地的一处车间，一块块晶圆卡盘正从生产线上顺利下线。

在刚刚举行的第四届武汉大学生“英雄杯”创新创业大赛中，智能制造赛道的顾勇刚团队从837个参赛项目中脱颖而出，以“基于高精度半导体温度控制技术产业化”项目获得大赛一等奖。

“拿到大奖，不仅是对项目技术实力与商业前景的认可，更是武汉这片创新创业热土蓬勃生机与无限机遇的最佳印证。”在顾勇刚看来，“楚材聚汉 共建支点”行动营造起浓厚的创业创新氛围，为一众创业者搭建起通向成功的桥梁，面对未来，他满怀期待。

既可加热也可制冷，5分钟内完成变温

在半导体芯片制造领域，精密温度控制技术是确保芯片良品率与性能的关键因素。从光刻、刻蚀、薄膜沉积等前道工艺，到固晶、塑封、测试等后道环节，几乎各环节都对温度精度有着严苛要求。一旦温度过高，会影响芯片的处理速度与功耗，还可能缩短芯片的使用寿命。因此，要确保芯片制造的稳定性和可靠性，就要掌握好精密温控技术。

在温度控制体系中，晶圆卡盘处于核心地位，堪称“皇冠顶上的明珠”。

工程师周华健介绍，传统调温高温多使用电加热丝，加热时间需35分钟。传统调温低温使用冷媒或液氮，变温时间也需35分钟。现在，公司产品突破时长，既可加热也可制冷，5分钟内完成变温，价格上较传统产品下降2/3，具有极大的市场优势。

“突破半导体级温控技术壁垒，才能推动实现全产业链国产化替代。”顾勇刚斩钉截铁地说道。

正在武汉大学攻读集成电路科学与工程专业博士的顾勇刚，已经拥有5家公司，覆盖半导体制造、激光医疗、生物科技等行业。今年，是中旗光电成立的第十年。瞄准核心技术攻坚十年，企业已成为行业龙头京东方、歌尔的供货商。

参加大赛，团队收获远超“一座奖杯”

据了解，中旗光电已和6所知名高校共建实验室，合作单位超过500家，团队申请的国家重点项目已顺利立项。

为何要参加“英雄杯”大赛？顾勇刚直言，他看重的正是这个一流的大学生创新创业展示交流平台。大赛期间及后续对接活动中，团队与武汉大学、华中科技大学等高校的实验室、研究团队进行了深入交流，“深度的产学研融合，将极大加速我们核心技术的迭代升级”。

市场青睐同样为团队注入发展动能。大赛舞台上，顾勇刚自信介绍，研发系统在温控响应速度、能效比及空间利用率等核心指标上实现了重大突破，具备响应迅捷、控制精度高等显著优势。全方位的展示吸引了众多知名投资机构的关注。赛中及赛后，江城产业投资基金、达晨财智创投、普朗克创投等创投机构伸出橄榄枝，已有投资机构表达了明确的投资意向。大赛发放的奖金也将用于核心产品晶圆静电卡盘的系统研发及产业化。顾勇刚信心倍增，“大赛搭建的平台为公司下一阶段的研发投入和市场拓展提供强有力的资金保障”。

当得知大赛组委会将提供一对一人才专员服务，提供“量体裁衣”式创业指导、融资对接、政策扶持、孵化加速等全链条服务，团队成员眼中迸发出惊喜的光芒——政策迷雾有人拨开，资源孤岛有桥连接，成长瓶颈有梯跨越。

贴近企业需求，期待在武汉成长壮大

随着市场需求爆发式增长，尤其是5G、AI、第三代半导体的普及，要求晶圆卡盘具备更高温控精度和材料适应性，催生新一代产品需求。

顾勇刚介绍，公司已申请47项相关实用新型专利和10项软件著作权。企业也贴近买方企业需求，提供快速响应与定制化解决方案，攻关高纯度制备工艺。

“有各方面的支持，我们对未来更有信心。”他介绍，今年，公司迎来多方面进展：上半年订单突破两千万元，产品进入多家半导体设备企业进行测试……团队期待着，继续在武汉成长壮大，积极拥抱千亿级市场。

在“楚材聚汉 共建支点”行动的带动下，顾勇刚和他的创业团队将持续破解精密温度控制的“技术密码”，加速推进与高校、企业的合作，依靠硬核产品，为构建体现武汉优势的现代化产业体系贡献青春力量。